CAP1400亮相“十二五”科技创新成就展

国家电投在国家“十二五”科技创新成就展上展示的国家科技重大专项“大型先进压水堆核电站”CAP1400研发成果和我国三代核电自主化重要进展情况备受关注。 [详细]

300mm晶圆匀胶显影设备研发成功

4月14日,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”任务圆满完成,突破了193nm光刻工艺超薄胶膜均匀涂敷等多项关键核心技术。 [详细]